M600 Automatic RSP Cleaner

The M600 fully-automatic central force cleaner is the perfect solution for the automatic cleaning of RSP150 or RSP200. In manual mode, all types of reticle or wafer carriers can be cleaned.

주요 기능

  • Fully-automated cleaning of RSP150 or RSP200
  • 모든 종류의 Reticle/Wafer 캐리어의 반자동 세정 가능
  • 내부 버퍼
  • IR 건조 기술
  • 수동 조작 가능
  • OHT 인터페이스
  • Class 1 국소 환경 및 ESD
  • SEMI standard Spec 의 SECS/GEM 인터페이스