M600 Automatic RSP Cleaner

M600 전자동 중앙 힘 클리너는 RSP150 또는 RSP200의 자동 청소를위한 완벽한 솔루션입니다. 수동 모드에서는 모든 유형의 레티클 또는 웨이퍼 캐리어를 청소할 수 있습니다.

주요 기능

  • Fully-automated cleaning of RSP150 or RSP200
  • 모든 종류의 Reticle/Wafer 캐리어의 반자동 세정 가능
  • 내부 버퍼
  • IR 건조 기술
  • 수동 조작 가능
  • OHT 인터페이스
  • Class 1 국소 환경 및 ESD
  • SEMI standard Spec 의 SECS/GEM 인터페이스